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同花順(300033)金融研究中心6月13日訊,有投資者向機器人(300024)提問, 董秘,您好!請問貴公司有半導體設備的訂單?請回復,謝謝。
公司回答表示,您好,公司半導體裝備業務產品主要為自主研發的真空機械手及集束型設備,包括:大氣機械手、真空機械手等系列產品、EFEM、真空傳輸平臺,主要應用在刻蝕、CVD、PVD、CMP、Descum、立式爐等工藝環節及領域,服務的下游行業是半導體工藝設備廠商。2022年度,公司半導體設備產業化應用初具規模,廣泛服務于硅片生產、晶圓加工、先進封裝及封裝測試等半導體制造全產業鏈,為客戶產業鏈及供應鏈安全的穩定提供多元保障,品牌效應顯現。真空機械手方面,兩軸真空直驅機械手產品,已實現小批量、多批次應用在客戶端,公司目前已完成13種兩軸真空直驅機械手平臺的研發。三軸真空直驅機械手產品,處于客戶端驗證階段,其結合全新控制器軟硬件平臺的應用,可支撐下游客戶的長期應用。四軸真空直驅機械手產品處于研發階段。目前,公司已成功研發多款新型雙臂真空機械手,部分產品已進入客戶端驗證階段,預計未來將成為公司半導體業務新的增長點。2022年度,公司半導體裝備業務實現收入2.44億元。公司半導體裝備業務的具體情況,請您查閱公司《2022年年度報告》。